干式真空泵是利用在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，真空度更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式/水环式/喷射式真空泵的更新换代产品。
　　一、干式真空泵应用
　　1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
　　2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
　　3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；
　　4、在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；
　　5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染；
　　二、干式真空泵性能优势
　　1、工作腔内无任何介质，可获得清洁真空。
　　2、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适应恶劣工况。
　　3、气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气体。
　　4、单台泵可从大气抽至 1Pa，真空系统可大大简化。
　　5、水温对真空影响小，节水达90%以上 ,甚至可以不耗水。
　　6、不耗油，无滴漏。
　　7、旋转部件间无摩擦，可高速运转， 整机体积小。
　　8、结构简单，维护方便。
　　9、被抽气体直接排出泵体，不污染水，无环保压力，气体回收更便捷。
　　10、可与罗茨泵、分子泵组成无油机组。