罗茨真空泵在运行过程中，要想维持其使用效率，除了正常的维护工作之外，还需要定期的对其进行清洗操作，但是在清洗操作中，为了保证清洗工作的准确性，接下来就其措施进行介绍。
1、初洗时，为了节约可以先用回收汽油，再洗则要用洗涤汽油，用航空汽油清洗干净。然后仔细检查损伤，划痕情况。
2、用棉布、绸布蘸少量丙酮或四氯化碳逐一清擦零件表面不用棉纱，以免棉纱细毛带入真空泵体内。
3、发现生锈或有毛刺的零部件，可用油石或金相砂纸轻轻地推磨，以去除锈斑、毛刺，要注意零件的光洁平整。
4、对油路的通孔、油槽、气体通道，应将其内堆积的颗粒杂质、尘埃、污垢、油渣全部清洗干净，结了壳的地方要轻轻铲除。用压缩空气将油路吹通吹干，务使油路槽孔内不要积存清洗用的汽油，溶剂。
5、清洗后的零部件切记要烘干（吹毛或用绸布擦后凉干）并遮盖好，防止落落灰。若有泵上的零部件等待修配、加工时，其他零部件可适当涂以清洁的真空泵油，防止生锈。
在罗茨真空泵的清洗工作中，可根据上述五部进行操作，从而减少操作误差，保证清洗效率，确保后期设备的运行情况。
