干式真空泵指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质的设备，但是在设备的使用中，很多用户并不了解其设备具体的应用范围，对此，接下来就其进行详细的介绍。
1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的真空泵可以满足要求；
4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用真空泵；
5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
以上就是干式真空泵的应用范围介绍，根据其介绍，可清楚的了解设备的使用和选择，以便更好的达到使用效率，避免出现任何导致设备损坏的情况。
